レーザによるダイヤモンドのスライス加工

比田井洋史, 平井はるな, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 36(2) 9-12 2020年4月
集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第4報）:深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性

アフザルハフィジー, 神津知己, 山口誠, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 88-89 2020年

<p>FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される．本研究では，顕微ラマン分光法を用いて，深紫外光照射による加工変質層の構造変化の過程に着目する．酸素雰囲気中において深紫外線照射することによって，加工変質層のエッチングが観測される．その酸素濃度依存がエッチング速度に影響を及ぼすことを明らかにした．発表では，深紫外光照射による加工変質層の構造変化のプロセスについて，およびエッチング後の表面構造について考察する.</p>
柔軟切削工具を用いた硬脆材料の微細溝加工

芦田極, 森田昇

機械の研究 71(10) 759-763 2019年10月
超高速光弾性応力撮像法を用いた硬脆材料の超精密加工計測プラットフォーム創成

森田昇

フジクラ財団研究報告書(CD-ROM) 2015 46‐52 2015年
世界の先端をゆく工作機械の活用技術解説編最新技術動向と展望柔軟なカンチレバー工具を用いたマイクロ・ナノ切削加工

芦田極, 森田昇

機械技術 61(12) 8-11 2013年12月1日

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書籍等出版物

Updates in Advanced Lithography

N.Kawasegi, N.Morita (担当:共著, 範囲:Chapter 4,Three-Dimensional Lithography Using Combination of Nanoscale Processing and Wet Chemical Etching,pp.95-121)

InTech 2013年 (ISBN: 9789535111757)
最新研磨技術

(担当:共著, 範囲:第7章加工面の評価技術 pp.205-227)

シーエムシー出版 2012年
Nanofabrication: Fundamentals and Applications

Noritaka Kawasegi, Deug Woo Lee, Noboru Morita, Jeong Woo Park (担当:共著, 範囲:Chapter 2,Atomic Force Microscope Lithography,pp.33-64)

World Scientific Publishing 2008年 (ISBN: 9789812700766)
Semiconductor Machining at the Micro-Nanoscale

Noboru Morita, Noritaka Kawasegi (担当:共著, 範囲:Chapter 9,Semiconductor nanofabrication by combining nanoscale machining with wet etching,pp.297-332)

Trasnsworld Research Network 2007年 (ISBN: 9788178953014)
機械加工ハンドブック

(担当:分担執筆, 範囲:7.3表面品位評価 pp.474-481)

朝倉書店 2006年11月

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講演・口頭発表等

822

SEM内スクライブ装置の開発

小川佑太, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第23回大学等委員による研究事例発表会 2021年3月
ガラス内銀析出物の選択的除去によるガラス加工

奥田陸, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第23回大学等委員による研究事例発表会 2021年3月
ガラス内銀析出挙動の動的観察および定量評価

河野美優香, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2021年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2021年3月
銀イオンとナトリウムイオンの交互添加によるガラス内電気伝導路の二層化

大西皓介, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
2次元切削中の刃先交換式切削工具の内部応力可視化

阿部祐樹, 稲垣史彦, 森田昇, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 松本祐一郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
SLSV機構を利用したダイヤモンドの微細加工方法に関する研究

清野祐一, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
レーザ照射を用いた金属ドープによるガラス吸収特性の制御

福嶋駿太, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
面接触物体の滑り出しにおける静摩擦係数の測定および光弾性法による接触状態変化の可視化

松藤あかり, 稲垣史彦, 森田昇, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 松本祐一郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
ガラス内銀析出挙動における電極形状と試験雰囲気の影響

立元雄也, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
レーザにより生成されるダイヤモンド内部変質詳細観察およびスライス加工への応用

徳永大二郎, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 尾松孝茂, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
UVナノ秒パルスレーザ照射によるホウケイ酸ガラス内部加工のメカニズム

澤田航輝, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
電圧印加を併用した固体イオン交換法によるガラス内銀析出現象および新たなガラス加工手法の提案

川村拓史, 大西皓介, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM) 2021年
2方向レーザ照射によるガラス内部での金属球の分裂

今関太一, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2020年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 2021年
有限要素法を用いたホイール割断におけるガラス内部の応力解析

今井健太郎, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2020年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 2021年
集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第4報）:深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性

アフザルハフィジー, 神津知己, 山口誠, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁

精密工学会学術講演会講演論文集 2020年公益社団法人精密工学会

<p>FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される．本研究では，顕微ラマン分光法を用いて，深紫外光照射による加工変質層の構造変化の過程に着目する．酸素雰囲気中において深紫外線照射することによって，加工変質層のエッチングが観測される．その酸素濃度依存がエッチング速度に影響を及ぼすことを明らかにした．発表では，深紫外光照射による加工変質層の構造変化のプロセスについて，およびエッチング後の表面構造について考察する.</p>
集束イオンビーム照射誘起ダイヤモンド変質層における紫外線エッチングの酸素濃度依存性

山口誠, アフザルハフィジービンモハマドジャマル, 神津知己, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁

砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2020年
集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱(第4報)-深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性-

HAFIZIE Afzahrul, 神津知己, 山口誠, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020年
集束イオンビーム(FIB)を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性(第7報)-エンドミル工具におけるテクスチャの効果-

柳村公平, 川堰宣隆, 高野登, 森田昇, 西村一仁, 山口誠

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020年
レーザ照射によるガラス内部への金属球の導入に必要となる金属膜の加熱条件

福嶋駿太, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2020年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2020年
ステージ位置制御によるガラス内部への金属球の導入安定化の提案およびレーザ照射条件が与える影響

西岡宣泰, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2020年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2020年
マイクロテクスチャを有する単結晶ダイヤモンド工具の開発とその切削加工特性

柳村公平, 川堰宣隆, 高野登, 森田昇, 西村一仁, 山口誠

日本機械学会北陸信越支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 2019年
集束イオンビーム照射した単結晶ダイヤモンド工具の改質とその切削加工特性第6報:エンドミル工具におけるテクスチャ効果の検討

柳村公平, 川堰宣隆, 高野登, 森田昇, 西村一仁, 山口誠

砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2019年
ホイール割断における工具形状が割断面形態に及ぼす影響

今井健太郎, 齊藤雅裕, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
金/ガラス陽極接合界面への逆電圧印加による亀裂生成および金の移動現象の解明

川村拓史, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
レーザ穴加工時に穴内面に形成する再堆積層に関する研究

佐藤俊, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
ガラス内部への金属球の導入に関する研究

西岡宣泰, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第20回大学等委員による研究事例発表会 2019年
金／ガラス陽極接合界面への逆電圧印加による亀裂生成と金の移動を利用したガラス分離加工法の提案

川村拓史, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会春季大会学術講演論文集 2019年
ガラス中の金属球マニピュレ−ションにおけるビームモードの影響および金属球移動軌跡の評価

今関太一, 比田井洋史, 松坂壮太, 千菓明, 森田昇

2018年度精密工学会春季大会学術講演論文集 2019年
高圧固定結合面における静摩擦係数および変位挙動の測定装置の開発

松藤あかり, 稲垣史彦, 森田昇, 比田井洋史, 大森達夫, 清水伸二, 松本祐一郎

2018年度精密工学会春季大会学術講演論文集 2019年
結晶材料のホイ−ル割断における結晶構造が割断面に及ぼす影響

高林滉, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
異種材料による真実接触面積を考慮した結合部接触剛性の評価手法に関する研究

井田史哉, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 清水伸二, 松本祐一郎, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
マイクロ摩擦スポット接合における接合品質向上法に関する研究

華斌, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
順電圧/逆電圧を用いたガラス内部への銅析出手法の確立

田上遼太, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
固体イオン交換プロセスの数値解析 - 電極形状および複数回添加が添加領域形状に及ぼす影響

大西皓介, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
ピコ秒パルスレーザによるダイヤモンドの内部変質の研究

佐藤正隆, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
ガラスのホイール割断時に工具接触部近傍に生じる微小欠陥に関する研究

齊藤雅裕, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
レーザ穴加工時に穴内面に形成する再堆積層の観察

佐藤俊, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2019年
ガラス内部への金属球の導入に対してレーザ照射条件が与える影響

西岡宣泰, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度日本機械学会関東学生会第57回学生員卒業研究発表講演会 2019年
ガラス内部での金属球移動により誘起される変質の分析および評価

吉村秀行, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

第18回国際工作機械技術者会議論文集 2019年
ガラス内部の各種金属球の移動およびその応用

沢藤新, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 2019年
金属触媒を利用したダイヤモンドの表面加工

上杉昇平, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2018年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 2019年
電圧印加を併用した固体イオン交換法によるガラス内銀析出挙動の動的観察

川村拓史, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
薄板ガラスのホイール割断における亀裂形成・進展挙動の観察

浅利朋生, 今井健太郎, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
金／ガラス陽極接合界面への逆電圧印加による亀裂生成と金移動に関する現象の解明とガラス加工への応用

川村拓史, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
ガラスのホイール割断において加工雰囲気が亀裂進展挙動に及ぼす影響

染野凌汰, 齊藤雅裕, 松本祐一郎, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2018年度精密工学会秋季大会学術講演論文集 2019年
ピコ秒レーザの開発とダイヤモンド内部変質への応用

佐藤正隆, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

日本機械学会第12回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集 2019年
ガラス中の金属球マニピュレーションにおける金属球移動軌跡の光学分析

今関太一, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2019年砥粒加工学会卒業研究発表会発表論文 2019年
レーザ照射によってガラス内部に導入される金属球と気泡の挙動の解明

今井拓哉, 西岡宣泰, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2019年砥粒加工学会卒業研究発表会発表論文 2019年
エバネッセント光を援用したエッチングに関する研究

兒玉賢亮, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

2019年砥粒加工学会卒業研究発表会発表論文 2019年
レーザによるダイヤモンド内部黒鉛に対する通電加熱および抵抗値の温度依存性計測

徳永大二郎, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第21回大学等委員による研究事例発表会 2019年