レーザによるダイヤモンドのスライス加工

比田井洋史, 平井はるな, 松坂壮太, 千葉明, 森田昇

ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 36(2) 9-12 2020年4月
集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第4報）:深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性

アフザルハフィジー, 神津知己, 山口誠, 川堰宣隆, 森田昇, 西村一仁

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 88-89 2020年

<p>FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される．本研究では，顕微ラマン分光法を用いて，深紫外光照射による加工変質層の構造変化の過程に着目する．酸素雰囲気中において深紫外線照射することによって，加工変質層のエッチングが観測される．その酸素濃度依存がエッチング速度に影響を及ぼすことを明らかにした．発表では，深紫外光照射による加工変質層の構造変化のプロセスについて，およびエッチング後の表面構造について考察する.</p>
柔軟切削工具を用いた硬脆材料の微細溝加工

芦田極, 森田昇

機械の研究 71(10) 759-763 2019年10月
超高速光弾性応力撮像法を用いた硬脆材料の超精密加工計測プラットフォーム創成

森田昇

フジクラ財団研究報告書(CD-ROM) 2015 46‐52 2015年
世界の先端をゆく工作機械の活用技術解説編最新技術動向と展望柔軟なカンチレバー工具を用いたマイクロ・ナノ切削加工

芦田極, 森田昇

機械技術 61(12) 8-11 2013年12月1日

もっとみる

書籍等出版物

Updates in Advanced Lithography

N.Kawasegi, N.Morita (担当:共著, 範囲:Chapter 4,Three-Dimensional Lithography Using Combination of Nanoscale Processing and Wet Chemical Etching,pp.95-121)

InTech 2013年 (ISBN: 9789535111757)
最新研磨技術

(担当:共著, 範囲:第7章加工面の評価技術 pp.205-227)

シーエムシー出版 2012年
Nanofabrication: Fundamentals and Applications

Noritaka Kawasegi, Deug Woo Lee, Noboru Morita, Jeong Woo Park (担当:共著, 範囲:Chapter 2,Atomic Force Microscope Lithography,pp.33-64)

World Scientific Publishing 2008年 (ISBN: 9789812700766)
Semiconductor Machining at the Micro-Nanoscale

Noboru Morita, Noritaka Kawasegi (担当:共著, 範囲:Chapter 9,Semiconductor nanofabrication by combining nanoscale machining with wet etching,pp.297-332)

Trasnsworld Research Network 2007年 (ISBN: 9788178953014)
機械加工ハンドブック

(担当:分担執筆, 範囲:7.3表面品位評価 pp.474-481)

朝倉書店 2006年11月

もっとみる

講演・口頭発表等

822

SEM内スクライブ装置の開発

小川佑太, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第23回大学等委員による研究事例発表会 2021年3月
ガラス内銀析出物の選択的除去によるガラス加工

奥田陸, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

千葉県加工技術研究会第23回大学等委員による研究事例発表会 2021年3月
ガラス内銀析出挙動の動的観察および定量評価

河野美優香, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

2021年度精密工学会卒業研究発表会発表論文集 2021年3月
銀イオンとナトリウムイオンの交互添加によるガラス内電気伝導路の二層化

大西皓介, 松坂壮太, 比田井洋史, 千葉明, 森田昇

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年
2次元切削中の刃先交換式切削工具の内部応力可視化

阿部祐樹, 稲垣史彦, 森田昇, 比田井洋史, 松坂壮太, 千葉明, 松本祐一郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021年